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        特氣管道(氫氣)氦質譜檢漏

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        特氣管道(氫氣)氦質譜檢漏


        • 特氣管道(氫氣)氦質譜檢漏

        • 詳細介紹

        半導體工廠特氣管道(氫氣)氦質譜檢漏

         

        合肥某半導體廠的特氣管道中有大量工藝氫氣管道,特點是管道長度較長且連接處眾多。為了防止氫氣在運輸過程中泄露造成的經濟損失和安全隱患,對氫氣管路進行氦檢漏非常有必要。

                                                                       


        本項目采用安徽歌博品牌的A530氦質譜檢漏儀,使用負壓噴氦法檢漏。具體檢測方法是:因管路較長且管徑較細,將氫氣管路分段密封好,然后對管路抽真空。抽真空時需檢測抽空接口的密封性是否良好。當氦檢儀所顯示的本底值達到要求后,逐段在管路表面噴吹氦氣,觀察氦檢儀的讀數是否上升,如果讀數上升意味著有管路有漏,對泄露處進行修補后繼續進行檢測。直至所有管路檢查完畢。

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        關鍵詞:氦質譜檢漏儀,氦氣檢漏儀,特氣管道(氫氣)氦質譜檢漏

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