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        真空腔體檢漏

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        真空腔體檢漏


        • 真空腔體檢漏

        • 詳細介紹

        真空腔體存在很多的焊接面和法蘭面,如果焊接不良或者法蘭面夾雜異物等原因,就會造成真空腔體的泄漏。

        為了查明泄漏點和具體漏率,將歌博科技氦質譜檢漏儀(下稱檢漏儀)通過波紋管連接在真空腔體上。對腔體進行抽空檢漏(注:若腔體體積較大,可能需要添加輔抽泵對腔體抽空,提高工作效率),在真空腔體表面從上到下噴氦,氦氣會通過漏孔進入到腔體內部,Z終被檢漏儀檢測到。因為腔體內部是真空狀態,不受空氣中氦氣本底的影響,所以檢測精度Z高可以達到10-13 Pa·m3·s-1,完全可以滿足客戶生產需求。

        真空腔體檢漏.jpg

        關鍵詞:真空腔體檢漏,真空管路檢漏,真空檢漏

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