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        真空爐檢漏

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        真空爐檢漏


        • 真空爐檢漏

        • 詳細介紹

           晶體生長在高真空的環境下進行材料催化,晶體生長,所使用真空爐需要達到E-3pa的真空度。之前設備真空度抽不上去時,是有經驗的師傅在可能的泄漏點抹丙酮,觀察電阻的變化來預估漏孔。這種方法有檢測花費時間長,精度低,較依賴師傅的經驗,無法全面檢測等缺點。

            采用安徽歌博科技有限公司的A100型氦質譜檢漏儀,采用負壓法檢漏。將檢漏儀與真空爐體通過波紋管連接。用氦氣袋向真空爐體表面噴氦。因為爐體內外存在壓差,氦氣會通過漏孔進入真空爐體內部,Z終被氦檢儀捕捉到,如果氦檢儀報警,說明此處有泄漏。這種方法具有檢測精度高,靈敏度高,花費時間短等優點。


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